Al、Al合金膜を腐食することなく、絶縁膜を良好にエッチングします。
エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜

製品の特長

• Al、Al合金を腐食しません。
• 良好な順テーパーを形成します。
• ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
• Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。