Ti膜を良好にエッチングします。
標準的な薄膜のエッチング用とTiシード層エッチング用を取り揃えています。

キーワード：ウェットエッチング、チタン

製品の特長

• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
• Cu/TiやW/Tiなどの積層膜に適しています。