製品詳細
各膜エッチング液
Wエッチング液Pure Etch W series
W膜を良好にエッチングします。
キーワード:ウェットエッチング、タングステン
製品の特長
- 良好な順テーパーを形成します。
- サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
- エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
- エッチング後の残渣がありません。
製品詳細
各膜エッチング液
W膜を良好にエッチングします。
キーワード:ウェットエッチング、タングステン
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