Al、Al合金膜を腐食することなく、絶縁膜を良好にエッチングします。
成膜した絶縁膜のエッチング加工に最適な標準品と、
Si表面が酸化されて発生する自然酸化膜の除去用を取り揃えています。

キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜

製品の特長

• Al、Al合金を腐食しません。
• 良好な順テーパーを形成します。
• ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
• Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。