林純薬工業株式会社

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製品詳細

各膜エッチング液

Tiエッチング液標準品、
Tiシード層エッチング液Pure Etch TE series

Ti膜を良好にエッチングします。
標準的な薄膜のエッチング用とTiシード層エッチング用を取り揃えています。

キーワード:ウェットエッチング、チタン

製品の特長

  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
  • Cu/TiやW/Tiなどの積層膜に適しています。

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