Ta膜を良好にエッチングします。
成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、
詳しくはお問い合わせください。

キーワード：ウェットエッチング、タンタル

製品の特長

• 良好にTaをエッチング可能です。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。