PZT（lead zirconate titanate,チタン酸ジルコン酸鉛）膜を良好にエッチングします。
成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、
詳しくはお問い合わせください。

キーワード：ウェットエッチング、チタン酸ジルコン酸鉛

製品の特長

• 少ないサイドエッチ量で、残渣無くエッチングします。
• さまざまな成膜方法のPZT膜に対応しています。（ゾルゲル法、スパッタ法、その他成膜法）
• Dip、Sprayなどのさまざまな処理方法でエッチング可能です。
• バルク品のエッチングにも対応しています。