製品詳細
各膜エッチング液
Mo(モリブデン)エッチング液Pure Etch AS series(For Mo)
製品の特長
- Mo、Mo合金膜を良好にエッチングします。
- 良好な順テーパーを形成します。
- サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
- エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
お電話でのお問い合わせ
06-6910-7336
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