Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、
Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。

キーワード：ウェットエッチング、モリブデン

製品の特長

• Mo、Mo合金膜を良好にエッチングします。
• 良好な順テーパーを形成します。
• サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
• エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。