林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

各膜エッチング液

Cuエッチング液Pure Etch C series

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。
標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えております。

 

キーワード:ウェットエッチング、銅

 

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

カタログのご案内

機能性薬液のカタログをご用意しております。
以下のお問い合わせフォームよりご請求いただけます。

メールでのお問い合わせはこちら

お電話でのお問い合わせ

ページ上部へ