林純薬 ‐ 電子材料、試薬、標準品の製造、販売林純薬 ‐ 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

各膜エッチング液

Cuエッチング液Pure Etch C series

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。 標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えております。

 

キーワード:ウェットエッチング、銅

 

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

ページ上部へ