林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

各膜エッチング液

Al、Mo、Mo/Al/Mo積層膜用標準品Pure Etch AS series

Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金等の積層膜を良好にエッチングします。

 

キーワード:ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜

 

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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