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各膜エッチング液

AlダメージレスSiエッチング液(異方性)Pure Etch 160、SI151

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。

 

キーワード:ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング

 

製品の特長

  • 平滑なエッチング面の形成が可能です。
  • デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。
  • エッチング液の劣化が少ないです。
  • 前処理液として、Pure Etch ZE series( Alダメージレス絶縁膜エッチング液)の使用を推奨します。

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