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各膜エッチング液

Ag、Ag合金、Ag系積層膜エッチング液Pure Etch AS series

Ag単膜、APC(Ag-Pd-Cu合金)等のAg合金膜単膜、またはAg/透明導電膜の積層膜エッチングに最適なエッチング液です

 

キーワード:ウェットエッチング、銀、APC

 

製品の特長

  • エッチングレートが安定しています。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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