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各膜エッチング液

TiWエッチング液Pure Etch TE series

TiW膜を良好にエッチングします。 成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、
詳しくはお問い合わせください。

キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン

 

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
  • エッチング後の残渣がありません。

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