TiWエッチング液Pure Etch TE series TiW膜を良好にエッチングします。 成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、 詳しくはお問い合わせください。 キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン 良好な順テーパーを形成します。 サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 エッチング後の残渣がありません。