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TiWエッチング液Pure Etch TE series
TiW膜を良好にエッチングします。
成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、
詳しくはお問い合わせください。
キーワード：ウェットエッチング、チタンタングステン
- 良好な順テーパーを形成します。
- サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
- エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
- エッチング後の残渣がありません。
各膜エッチング液
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