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各金属膜エッチング液

Cr（クロム）エッチング液Pure Etch CR series

製品の特長

  • Cr膜を良好にエッチングします。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
  • BMやフォトマスクのCrエッチングに適しています。

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