APCエッチング液Pure Etch AS series （For APC） APC（Ag＋Pd＋Cu）膜を良好にエッチングします。 良好な順テーパーを形成します。 エッチングレートが安定しています。 常温での処理が可能です。 エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
