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各金属膜エッチング液

APCエッチング液Pure Etch AS series　（For APC）

製品の特長

  • APC（Ag＋Pd＋Cu）膜を良好にエッチングします。
  • 良好な順テーパーを形成します。
  • エッチングレートが安定しています。
  • 常温での処理が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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