林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

各金属膜エッチング液

積層膜エッチング液Pure Etch AS series (For Stacked Film )

製品の特長

  • Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金の3層積層膜を良好に一括エッチングします。
  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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