Al（アルミニウム）エッチング液Pure Etch NS series （Taper control type） Al、Al合金膜を良好にエッチングします。 所望のテーパー形状（テーパー角）を形成します。 サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
