林純薬工業株式会社

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製品詳細

各膜エッチング液

AlダメージレスSiエッチング液(異方性)Pure Etch 160・SI151

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。

キーワード:ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング

製品の特長

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