林純薬工業株式会社

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製品詳細

各膜エッチング液

Cuエッチング液Pure Etch C series

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。
標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。

キーワード:ウェットエッチング、銅

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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