2025/6/30

【プレスリリース】三菱ケミカル株式会社所有の 電子工業用高純度プロセス薬品 製造設備の売買契約を締結

〈リリース全文〉

～創業120年の化学薬品メーカー林純薬工業が2027年新工場設立に向けて始動～

林純薬工業株式会社（本社：大阪市中央区、代表取締役社長：和田 清之）は、三菱ケミカル株式会社（本社：東京都千代田区、代表取締役社長：筑本 学）と2025年6月30日、三菱ケミカル株式会社が同社小名浜工場（福島県いわき市）において運用している電子工業用高純度プロセス薬品（主にEL混酸）の製造設備（以下、「同設備」）の売買契約を締結いたしました。なお同設備は、2027年3月まで三菱ケミカル株式会社が所有、その運用を継続する予定です。
当社は2027年4月をめどに、購入した同設備を活用し、当社で4工場目となる福島工場を設立し、生産供給を開始する予定です。東日本での生産・物流拠点として構築し、さらなる販路・事業拡大を進めてまいります。

■契約概要
電子工業用高純度プロセス薬品（主にEL混酸）の製造設備^※の買い取り
※現在、三菱ケミカル 小名浜工場（福島県いわき市小名浜字高山34）にて運用されている設備です

■取扱製品（予定）
EL混酸、EL硝酸

■生産製品：EL混酸について
主な用途：半導体製造時のウェットエッチング
ラインアップ：Siエッチング液（シリコンウエハーのエッチング）
Alエッチング液（アルミニウム膜のエッチング）

 〈電子工業用高純度プロセス薬品（EL混酸）とは〉
半導体製造工程において、シリコンウエハーのエッチング工程や配線形成工程にはウェットエッチング液が用いられます。
例えば、シリコンエッチング液はフッ酸と硝酸の混合液をベースに他の酸を混合したものを使用します。エッチング対象物やエッチング速度やエッチング方法によって、最適な化学薬品の種類や混合比率があります。