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各膜エッチング液

Siエッチング液(等方性)Pure Etch SE series

Si膜を良好に等方性エッチングします。 等方性エッチング液標準品のほか、Si基板の薄化に最適な薄化用エッチング液もございます。

 

キーワード:ウェットエッチング、シリコン等方性エッチング、シリコン基板薄化

 

製品の特長

  • 低温、短時間での処理が可能です。
  • エッチング後の表面は鏡面です。

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