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各膜エッチング液

Alダメージレス絶縁膜エッチング液Pure Etch ZE series

Al、Al合金膜を腐食することなく、絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

 

キーワード:ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜

 

製品の特長

  • Al、Al合金を腐食しません。
  • 良好な順テーパーを形成します。
  • ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
  • Pure Etch 160( AlダメージレスSiエッチング液)の前処理液としても使用可能です。

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