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各膜エッチング液

Wエッチング液Pure Etch W series

W膜を良好にエッチングします。

 

キーワード:ウェットエッチング、タングステン

 

製品の特長

  • 良好な順テーパーを形成します。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
  • エッチング後の残渣がありません。

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