林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

電子材料

2013年07月22日

『水晶エッチング液』の開発《水晶デバイス用》

品名 Pure Etch ZE400 Series(水晶デバイス用)
品番 Pure Etch ZE401
サンプル出荷 2013年7月より出荷開始
生産工場 佐賀工場

林純薬工業株式会社(社長:入江正克、以下 林純薬)は、この度、水晶デバイス向けとして、水晶エッチング液を開発いたしました。2013年7月よりサンプル出荷を開始します。

水晶は圧電物質※1の一つであり、その現象を利用した水晶デバイスは、電子機器の動作基準となる周波数を作り出す重要な部品です。また、水晶デバイスの一つである水晶振動子は、水晶からの切り出し角度、厚みや長さにより、様々な周波数を得られる事から、携帯電話やパソコンなど、多種多様なエレクトロニクス製品に使用されております。近年、電子機器の発展に伴い、水晶振動子の小型化、高精度化が要求されています。

現在、水晶振動子は、フォトリソグラフィ技術を用いて製造されており、ウェットエッチング工程にて逆メサ型構造を形成し、小型化、高精度化を行っています。水晶のウェットエッチングに用いられるエッチング液として、フッ化水素酸(以下 HF)や、HFとフッ化アンモニウム(以下 NH4F)の混合液が広く使用されています。

しかし、これらのエッチング液は、水晶に存在する各結晶方位のエッチングレートに大きな差があり、断面形状のテーパー角が異なります。さらにエッチングの進行に伴い、エッチング表面の荒れ、厚みの不均一化が発生します。また、エッチング液によるマスク※2の腐食が発生する為、所望の加工が出来ない問題点があります。これらの問題が、周波数のバラツキ発生の原因となる為、小型化、高精度化の課題となっております。その為、エッチングによるテーパー角の制御、エッチング表面の平坦化、厚みの均一化、マスクの腐食抑制技術が必要です。そこで当社はこの度、独自技術により、エッチングによる断面形状のテーパー角の角度差を低減し、エッチング表面の平坦化、且つ厚みを均一にエッチングすることが可能となる水晶エッチング液を開発しました。さらに薬液によるマスクへの腐食を抑制することが可能です。

本製品を使用することにより、特殊な技術を用いることなく、テーパー角の角度差を低減、エッチング表面の平坦化、厚みの均一化、マスクへの腐食抑制が可能となります。その結果、所望の加工が可能であり、プロセスの簡略化が出来ます。

※1 圧電物質:水晶の結晶を変形させる事で、電圧を発生する物質のこと。機械的な圧力により表面に電流が発生する現象を圧電現象、電気をかける事により機械的な変形を生じる現象を逆圧電現象という。
※2 マスク:エッチング時に、エッチング対象膜の保護したい領域をレジストや金属(Au、Crなど)で覆った膜のこと。

◆特長

本開発で得られた水晶エッチング液の特長は以下の通りです。

  1. レジスト、金属膜 (Au、Crなど)マスクを腐食すること無く、水晶をエッチングすることが可能
  2. 断面形状のテーパー角の角度差を低減することが可能
  3. エッチング表面の平坦化が可能
  4. 厚みの均一化が可能

◆適用例

【評価基板】 水晶基板

ph-newitem0722-01

【耐薬品性】

ph-newitem0722-02

メールでのお問い合わせはこちら

お電話でのお問い合わせ

 

ページ上部へ