林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売

電子材料

2012年08月28日

『銀ナノワイヤーエッチング液』の開発《ITO代替透明導電膜向け》

品名 Pure Etch GNW Series
品番 Pure Etch GNW300、GNW400
サンプル出荷 2012年8月より出荷開始
生産工場 三重工場

林純薬工業株式会社(社長:入江正克、以下林純薬)は、この度、ITO(酸化インジウムスズ=Indium Tin Oxideの略称)代替透明導電膜である銀ナノワイヤーをエッチングすることができる高性能エッチング液を開発しました。2012年8月よりサンプル出荷を開始します。

銀ナノワイヤー透明導電膜は、高い透明性、導電性を持ち、さらにITOよりも良好なフレキシブル性を持ち合わせます。一方ITOの材料であるインジウムはレアメタルであり、今後の安定供給に不安が残されています。さらにITOの成膜には高温でのスパッタリングが用いられる為、コストが高く、高温に弱いフレキシブル基板との相性も悪いという問題点があります。
これらのことから、銀ナノワイヤー透明導電膜はタッチパネル分野において、ITOに替わる透明導電膜として注目され、その開発が積極的に行われています。

その一方で銀ナノワイヤーには、ITOに比べて配線パターンが目視で見え易いという特徴がある為、製品化の際には配線パターンを見え難くする技術が必要です。
そこで当社は、エッチングによる配線パターン形成時に、エッチング部が絶縁状態で、かつエッチング部の銀ナノワイヤーが完全には溶解せず一部が残ること(以下、パーシャルエッチング)で、配線パターンを見え難くする事が可能となるエッチング液を、独自の技術によって開発しました。

本製品を使用することにより、特殊な技術を用いることなく、従来よりも容易にパーシャルエッチングが可能となり、配線パターンを見え難くすることが可能となります。
なお、本製品は、2012年9月5日~7日に台湾で開催されるセミコン台湾2012に出展予定です。

◆特長

  1. 特殊な技術を用いることなく、銀ナノワイヤーをパーシャルエッチングとフルエッチングすることが可能
  2. アルカリ系エッチング液、酸系エッチング液(非王水系)の2系統をラインナップ
  3. 王水系エッチング液も調製可能
  4. 低温、短時間でのエッチングが可能

◆適用例

<評価サンプル> 銀ナノワイヤーフィルム
<処理条件> 25℃ Dip 静止
<観察結果> レーザー顕微鏡

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<模式図> 処理フロー説明

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