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各金属膜エッチング液

絶縁膜エッチング液Pure Etch ZE series

製品の特長

  • Al、Al合金膜を腐食することなく、絶縁膜を良好にエッチングします。
  • 良好な順テーパーを形成します。
  • ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
  • Pure Etch 160 （AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。

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