絶縁膜エッチング液Pure Etch ZE series Al、Al合金膜を腐食することなく、絶縁膜を良好にエッチングします。 良好な順テーパーを形成します。 ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。 Pure Etch 160 （AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。
