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各金属膜エッチング液

Au（金）エッチング液Pure Etch AU series

製品の特長

  • Au膜を良好にエッチングします。
  • 低温、短時間での処理が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
  • 微細なバンプ形成やパターン形成プロセスに適しています。

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