林純薬 – 電子材料、試薬、標準品の製造、販売



各金属膜エッチング液

Ti(チタン)エッチング液Pure Etch TE series

製品の特長

  • Ti膜を良好にエッチングします。
  • サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
  • エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。

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