Mo(モリブデン)エッチング液Pure Etch AS series (For Mo) Mo、Mo合金膜を良好にエッチングします。 良好な順テーパーを形成します。 サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。